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本实用新型公开一种带飞行卡具溅射镀膜系统,该新型带飞行卡具溅射镀膜系统包括溅射镀膜系统,干燥箱和反应箱,镀膜系统的一端设有第一进气管与第二进气管,第一进气管与第二进气管的一端分别设有压力变送器,压力变送器与储气罐连接,第一进气管与第二进气管的另一端依次与干燥箱、检测箱、电解箱与反应箱,检测箱上设有气压表,电解箱与反应箱之间设有水箱,反应箱的端面设有废气出口与气体回流箱,回流箱通过导管与储气罐连接;该新型带飞行卡具溅射镀膜系统结构稳定,密封性好,废气易排除且剩余气体便于重复利用,节省资源,适合推广
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210420136 U
(45)授权公告日
2020.04.28
(21)申请号 20192
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