一种气体喷洒模组.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种气体喷洒模组,气体喷洒模组包括气体喷洒模组本体,气体喷洒模组本体为扁平状,气体喷洒模组本体的一侧表面设有两条螺旋型气槽,两条螺旋型气槽的起始点均为气体喷洒模组本体的中心点,其中一条螺旋型气槽顺时针向气体喷洒模组本体的边缘延伸,另一条螺旋型气槽逆时针向气体喷洒模组本体的边缘延伸;气体喷洒模组的另一侧表面设有若干气体喷洒口,气体喷洒口沿着螺旋型气槽的延伸方向均匀分布。本实用新型的有点在于:本技术方案的气体喷洒模组作为反应气体供应源,使气体均匀分布,达到气体均匀曾留的效果,进而能充

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210438835 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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