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一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用.pdf

    本发明属于压力传感器技术领域，本发明公开了一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用。本发明所述电容式柔性压力传感器包括两层多孔聚二甲基硅氧烷介电层、一层离子凝胶介电层和两层集电极。本发明所述电容式柔性压力传感器在高压区域和低压区域均具有高的灵敏度；在低压区域传感原理是压容效应，在高压区域传感原理是双电层电容效应。在不同压力下所展现的不同电容效应可以使灵敏度曲线出现突变点，该灵敏度突变点可以通过多孔聚二甲基硅氧烷介电层的孔密度和大小来调控，从而实现了传感器灵敏度的按需调控。且该电容式

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754110 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310695078.9 G01L 9/12 (2006.01) (22)申请日 2023.06.1

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