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一种显影装置.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种显影装置.pdf

    本实用新型公开了一种显影装置，该装置以立柱、储液槽和驱动电机为基础，以行星齿轮系为核心，包括太阳轮、行星轮、行星固定架，共同实现光刻工艺中显影这一工艺流程。与传统的手动显影和喷淋方法不同，本实用新型是将曝光后的基片浸没在显影液中，实现指定区域的溶解，利用行星轮带动基片高速旋转，通过离心力的作用实现溶解产物的排出，借助轮系传动实现基片在绕中心轴周转同时自身也在同步自转，减小了同一基片不同部位之间线速度的差异，提高了显影均匀性，同时一次可装夹多个基片，适用不同尺寸基片，以简单高效的方式实现了显影这一

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219695623 U (45)授权公告日 2023.09.15 (21)申请号 202321156257.7 (22)申请日 2023.05.15 (73)专利权人 河南理工大学 地址 45400

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