一种镀膜质量检测方法、系统、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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一种镀膜质量检测方法、系统、设备及存储介质.pdf

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本发明实施例公开了一种镀膜质量检测方法、系统、设备及存储介质，包括：获取预设数量个待检测晶圆的测量信息集，以及待检测晶圆的检测参数信息；其中，各测量信息集对应的待检测晶圆直径均匀全覆盖于待检测晶圆表面；针对每个测量信息集，根据检测参数信息和测量信息集中各测量点的测量位置信息，确定各测量点对应的镀膜前弓高、镀膜后弓高和应力值；根据各测量信息集对应的当前旋转角度、各测量位置信息、各镀膜前弓高、各镀膜后弓高和各应力值确定待检测晶圆的镀膜质量检测结果。增加了镀膜质量检测结果中检测类型的丰富程度，从覆盖率

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759327 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202311062621.8 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人无锡卓海科技股份有限公司地址