1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种新型直拉硅单晶炉底部加热器.pdfVIP

  • 13
  • 0
  • 约7.71千字
  • 约 7页
  • 2023-09-16 发布于四川
  • 举报

一种新型直拉硅单晶炉底部加热器.pdf

    本实用新型提供一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，包括两组对位设置的第一加热部和第二加热部，所述第一加热部与所述第二加热部串联连接且轴对称设置；所述第一加热部包括串联连接的U型体和分设在所述U型体两侧的W型体，所述W型体位于所述第一加热部外缘处，所述U型体与所述W型体共同形成一体式结构；所述第二加热部包括两组串联对称设置阶梯状弯曲体，所述弯曲体横向宽度从靠近所述第一加热部一端到远离所述第一加热部一端递增；两组所述第一加热部与所述第二加热部内缘共同形成一内切椭圆形空隙。本实用新型可使单晶头部间隙氧含量

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210438861 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >