微柱-孔阵列结构MEMS静电驱动器及其制备方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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微柱-孔阵列结构MEMS静电驱动器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种微柱‑孔阵列结构MEMS静电驱动器及其制备方法，采用了微柱‑孔阵列电极驱动结构，充分利用大面积可动功能部件的背面空间，大幅度提高占空比，微柱‑孔阵列驱动结构密度高、数量多，环绕微柱一周均能产生静电力，静电驱动力密度大，特别适合于驱动平板结构上下平动以及扭转角度适中的扭转运动，从而可提高静电驱动器的力密度、减小芯片面积、降低芯片成本，对推动MEMS静电驱动器的发展具有重要意义。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116760313 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310755086.8 (22)申请日 2023.06.25 (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术