一种晶圆多工位边缘抛光装置.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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一种晶圆多工位边缘抛光装置.pdf

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本发明提供一种晶圆多工位边缘抛光装置，属于晶圆抛光装置技术领域，其包括机架；机罩，机罩固定连接于机架的顶部，机罩的侧端固定连接有出料管，出料管的侧端通过铰轴转动连接有密封门，出料管和机罩内安装有吸附机构；卡盘，卡盘设置有多个，多个卡盘设置于机架的内壁之间，且每个卡盘内均容纳有晶圆块，多个卡盘之间设置有分隔机构；当需要解除对单个晶圆块的夹持固定时，启动多个电动推杆，多个电动推杆的伸缩端推动多个夹块相远离，使得多个夹块解除对单个晶圆块夹持，通过多组固定组件对多个晶圆块的夹持固定，保证多个晶圆块于机架

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116748998 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310902914.6 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人苏州博宏源机械制