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一种半导体芯片无尘研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种半导体芯片无尘研磨装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体芯片无尘研磨装置，包括安装台，所述安装台的上端面上固定安装有安装杆，所述安装杆上固定安装有固定杆，所述固定杆的底部设置有研磨部件，所述安装台的上端面上转动安装有工作台，所述安装台上对应工作台位置处设置有吸尘机构，本实用新型为一种半导体芯片无尘研磨装置，通过设置监控头、丝杆电机和万向伸缩管等，达到了提高芯片的研磨效果，降低影响损伤，提高芯片质量，达到无尘研磨的效果，解决了目前的研磨装置大多数无法保证精度，研磨过程中容易在芯片表面产生硬性损伤，导致芯片损伤，质量下降，且芯片

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210435963 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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