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- 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种无热阵列波导光栅，包括硅基衬底，和设置于所述硅基衬底之上的无热阵列波导，其具体包括包层与波导芯层，所述芯层设于所述包层之中，并且其折射率高于所述包层的折射率；所述波导芯层包括周期性设置的多层结构，所述多层结构包括：双层二氧化硅材料以及设置于所述双层二氧化硅材料之间的负温度系数材料；所述负温度系数材料用于对所述硅基衬底受热后尺寸形变进行补偿，以减小该无热阵列波导光栅的温漂系数。本实用新型的技术方案简化了传统无热型阵列波导光栅的波导芯层结构，在芯层结构中引入负温度系数材料，使波导
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210442536 U
(45)授权公告日
2020.05.01
(21)申请号 20192
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