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一种脉冲碳离子激发源装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种脉冲碳离子激发源装置.pdf

    本实用新型公开了一种脉冲碳离子激发源装置，包括阳极、第一石墨电极、第二石墨电极、第三石墨引弧和作为消耗性阴极的石墨靶材；从上往下依次设置，且中心在一条直线上；当真空室内达到预定真空度时，分别在第一石墨电极与第三石墨引弧、第一石墨电极与石墨靶材、石墨靶材与阳极之间施加不同电位差；在第一石墨电极与第二石墨电极之间施加一定脉冲直流电压，在第一石墨电极与第二石墨电极之间燃弧，基于冷阴极真空电弧放电原理，依靠设置的三级引弧电极依次产生电离，在引弧电极和阴极之间建立强电场，形成场致电子发射，最终实现阴极和阳

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210438827 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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