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- 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉，包括顶部保温板、坩埚盖板和气路结构，所述气路结构包括穿过所述顶部保温板和所述坩埚盖板连通于所述坩埚内的进气管、穿过所述坩埚盖板和顶部保温板连通所述坩埚内与所述铸锭炉外的若干排气、位于所述顶部保温板外的气路保温板，位于所述顶部保温板外的部分所述排气管内置于所述气路保温板内。通过设置气路保温板，对流出所述顶部保温板后温度急剧下降的杂质气体起到保温的效果，防止杂质气体在排气管的管壁上凝结造成堵塞。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210438863 U
(45)授权公告日
2020.05.01
(21)申请号 20192
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