原创力文档- 3
- 0
- 约6.05千字
- 约 6页
- 2023-09-17 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，包括：磁体、真空室壁板、固定座、溅射靶基板、靶材和去离子水存储盒，所述溅射靶基板覆盖在去离子水存储盒的开口上并焊接密封，所述磁体设置在去离子水存储盒中并与溅射靶基板平行间隔，所述去离子水存储盒中设置有数根贯穿去离子水存储盒和固定座而延伸至真空室壁板外侧的水管，所述去离子水存储盒底部设置有与水管对应的第一通孔并焊接密封固定，所述水管上套设有位于真空室壁板和固定座之间的圆台密封套，所述水管的外端设置有T形螺母进行紧固。通过上述方式，本实用新型所述的镀膜用
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210438829 U
(45)授权公告日
2020.05.01
(21)申请号 20192
您可能关注的文档
- 一种加湿器的消声装置及加湿器.pdf
- 一种用于拉伸弹簧加工的清洗装置.pdf
- 一种水刀加工用自动清理泥沙的水箱.pdf
- 一种用于电线电缆的余缆架.pdf
- 一种拉簧式月牙形锁紧装置.pdf
- 一种1700U形风道的过滤装置.pdf
- 一种半六角护罩铝板焊接固定装置.pdf
- 一种尾筛可调节的振动筛.pdf
- 一种贴合片材装置.pdf
- 一种水暖器水暖散热铝板.pdf
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 课外古诗词诵读 (3).pptx
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 课外古诗词诵读 (7).pptx
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 课外古诗词诵读（二） (2).ppt
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 课外古诗词诵读（二）.ppt
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 课外古诗词诵读(二).pptx
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 单元基础巩固练（6）.pptx
- 水利检测资格测验培训(混凝土施工质量考验与评定)[精彩.pptx
- 三年级语文下册第二单元检测卷.pdf
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 写作 发挥联想和想象 (4).pptx
- 部编版七年级上册语文 第六单元 想象世界 写作 发挥联想和想象.pptx
文档评论（0）