一种硅圆晶精加工抛光设备.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型属于抛光设备技术领域,尤其为一种硅圆晶精加工抛光设备,包括抛光台,所述抛光台的边缘处焊接有支撑板,所述支撑板的上端通过螺栓固定有液压气缸,所述液压气缸的输出轴固定连接有抛光电机,所述抛光电机的输出轴固定连接有偏心抛光轮,所述抛光台的上表面焊接有套筒,所述套筒内部的下通过螺栓固定有风泵;圆晶打磨时放置在通过焊接固定在抛光台表面套筒的内部,使得圆晶与吸盘接触,风泵向外排气,使得吸盘的内部压强降低,增加了圆晶与吸盘接触的稳定性,同时吸盘内部压强降低后收缩,使得圆晶与防滑橡胶条接触,增加了圆晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210435913 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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