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一种半导体芯片研磨用清洁装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种半导体芯片研磨用清洁装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体芯片研磨用清洁装置，包括底座，所述底座上端面左侧设置有横向滑轨，所述横向滑轨上滑动设置有滑板，所述滑板上固定设置有竖板，所述竖板中间设置有安装板，所述安装板上端面右侧设置有喷水清洁装置，所述安装板底端面右侧安装有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有研磨轮，所述横向滑轨左侧设置有驱动装置，结构简单，构造清晰易懂，能够实现研磨轮的水平运动和升降运动，对物料槽内的若干芯片进行研磨，实现多组芯片同步研磨作业，效率高，此外，研磨过程中，通过水泵对研磨面进行喷水清洁，并对研磨面进

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210434944 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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