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本实用新型公开了一种多晶铸锭炉加热器，包括用以对硅料加热的顶部加热器和侧部加热器，所述顶部加热器和所述侧部加热器配合形成容置坩埚及硅料的空间；还包括用以驱动所述顶部加热器运动的第一驱动机构和用以驱动所述侧部加热器运动的第二驱动机构，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的运动相互独立。上述多晶铸锭炉加热器便于控制形成有利于硅锭快速长晶成型的微凸热场，且对现有多晶铸锭炉改造较小，节约了改造成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210458426 U
(45)授权公告日
2020.05.05
(21)申请号 20192
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