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一种晶圆测试机.pdfVIP

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  • 2023-09-19 发布于四川
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一种晶圆测试机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆测试机，包括：机架，其具有托盘放置区以及测试区，托盘放置区设置有盛放晶圆的托盘；取放料夹具，其具有取料吸头、放料吸头以及驱动取料吸头和放料吸头竖向滑动的驱动机构A，取料吸头和放料吸头均与真空发生装置气连接；驱动机构B，其输出端与取放料夹具连接，用于驱动取放料夹具在托盘放置区和测试区之间转移；测试夹具，其设置在测试区，具有用于晶圆电测试的测试电路板、设置在测试电路板正下方用于定位夹紧晶圆的载座以及驱动载座竖向滑动的驱动机构C。本实用新型避免了夹具配合人工的方式导致的测试效率

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210449946 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 20192

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