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- 2023-09-20 发布于天津
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单、双、多层增透膜的原理及应用〔转载自网络并整理〕
单层入/4增透膜
入/4的光学增透膜〔下面讨论时光学元件用玻璃来代替,初始入射介质用空气来代替〕,一般为在玻璃上镀一层光学厚度为入/4的薄膜,且薄膜的折射率大于空气的折射率,小于玻璃的折射率由菲涅耳公式知,光线垂直人射时,反射光在空气一薄膜界面和薄膜一玻璃界面都有半波损失设空气、镀膜、玻璃的折射率分别为n0,n1,n2且n2n1n0定义R01,T01为空气-薄膜界面的反射率与透射率,R01,T01为薄膜-空气界面的反射率与透射率,R12,T12为薄膜-玻璃界面的反射率与透射率,R21,T21为玻璃-薄膜界面的反射率与透射率如图4-1所示示,为了区分人射光线和反射光线,这里将入射光线画成斜入射,图4-1中反射光线1和2的光程差为入/2,这样反射光便能完全相消由菲涅耳公式知道,光垂直通过界面时,反射率R和透射率T与折射率n的关系为:
R
=R
(
n
—
n
-)
=
—
——0-
2
01
10
n
+
n
=1
1
0
4
n
n
T
=T
-
R
=
A
1
0
01
10
01
(
n
+
n)2
0
1
R
=R
(
n
-
n
-)
=
-JX-
—
1-
2
12
21
n
+
n
=1
2
1
4
n
n
T
=T
一
-
R
=
——1
—2
122112(n+n)212设人射光的光强为I0,则反射光线1的光强I1=I0R0,反射光线2的光强I2=I0I01R12T10。余下的反射光的光强中会出现反射率的平方,因为反射率都比较小,故可不再考虑。入/4的光学增透膜使反射光线1与反射光线2的光程差为6=2n1d1二入/2,故相位差为叭由干预理论知,干预后的光强为:
I=I+1+:TTcos兀=I(R-TR)2p121200101、12
因为折射率n0,n1,n2比较接近,例如n0=1,n2=1.5的界面,T=96%,故可近似地取T01和T10为1,假设使Ip为0,则有R01=R12,即:
,n-n、,n-n、()2=()2n+nn+n1021由n2n1n0得n=-nn,当上式成立时,反射率最小,透射率最大。但是涂一层膜也有不足之处,因为常用的入/4光学增透膜MgF2,MgF2的折射率为1.38,1.38*1.38=1.9044,而玻璃的折射率一般在1.5~1.8之间,所以用MgF2增透膜不能使反射光光强最小,再者,一波长为入+△入的光垂直入射到入/4的光学增透膜同波长为入的光一样反射光线1和反射光线2的光程差为6=入/2相位差为△中二2几入/2〔入+△入〕从而干预后的光强为:I=I+1+2JITcos△中,即p12%12
冗X,一可选择合适的材料,使11=12,从而上式变为I=2Icos2(.一)。如图4-2所示,I为反射光的光强,△入为线宽,I随△入的地增加而迅速增加。光学厚度为入/4的光学增透膜的反射光强随波长的变化曲线呈V形,这样入/4的光学增透膜的透射率较大的波段就较小,我们称入/4的光学增透膜的频宽较小,现代的照像机的镜头、摄像机的镜头,以及彩色电视机的荧屏并不要求在某一波长的光有很高的透射率,而希望在较宽的波段范围内透射率较低且一致,即要求增透膜的频宽较大。所以我们就可以镀两层膜,甚至是多层膜。
空气第一层膜玻璃图4-1
在需镀膜的元件上镀两层膜。这里设空气的折射率为n0,镀的两层膜的折射率为分别为n1和n2,厚度分别为dl和d2,玻璃的折射率为n3,且有n3n2n1n0。定义R01,T01为空气一第一层薄膜界面的反射率与透射率,R10,T10为第一层薄膜-空气界面的反射率与透射率,R12,T12为第一层薄膜-第二层薄膜界面的反射率与透射率,R21,T21为第二层薄膜-第一层薄膜界面的反射率与透射率,R23,T23为第二层薄膜-玻璃界面的反射率与透射率,R32,T32为玻璃-第二层薄膜界面的反射率与透射率,入射光线垂直人射到介质上取人射光的振动方程为:
E=Acos(伽+0)。
同入/4的光学增透膜的一样,我们只讨论反射光线1、2、3的情况。
由n3n2n1n0知,反射光线1、2、3都有半波损,设两层薄膜引起的光程差分别为61和62,反射光线1、2、3的波动方程分别为:
E=Acos(①t+0+兀)2兀e、E=Acos(①t+0+—^—3+兀)2兀2兀E=Acos(①t+0+—^—3+—^—3+兀)
则干预点P处的光强为三束光线的叠加E—
E—-Acos(rot+0)-Acos(rot+0+
竺8)-Acos[w+0+竺(5+5)]
入130入12
解此方程可得下述结果:
〔1〕令R01=R12=R23,即有Tn0—n2-n1n+nn+nTOC\o1-5\h\得:n—n3n3,n—nn取R=R01=R12=R23,由于透射光的光
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