1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种研抛设备的自动分液排放和循环装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约5.2千字
  • 约 7页
  • 2023-09-19 发布于四川
  • 举报

一种研抛设备的自动分液排放和循环装置.pdf

    本实用新型属于硅片研磨抛光设备领域，具体涉及一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。包括分液盒，分液盒底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头分液盒顶部盖设有安装板，安装板上设有通孔用于导入抛光液，分液盒下部设有安装块；安装块与连接支架相连，连接支架通过销轴与气缸连接。分液转轴横向贯穿分液盒，分液盒内的分液转轴中段设有分液扇，其中一端部与设于分液盒外的连杆一端相连；连杆另一端通过连接座气缸头部相连。本实用新型节约设备使用成本，减少废液污染，结构简单，只需通过一个气缸来控制分液扇转动，即可实现可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210452354 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >