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- 2023-09-19 发布于四川
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本实用新型涉及太阳能电池领域，公开了载板缓存装置及PVD镀膜设备。载板缓存装置包括缓存站，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽，每个槽沿高度方向贯通设置，用于支撑载板；输送组件用于将载板输送至指定位置；抽取组件包括托板和与其连接的抽取驱动，抽取驱动能够驱动托板沿卡槽深度方向往复移动以使托板运动至任一载板的下方或输送组件的上方，抽取驱动还能够驱动托板升降以托举载板使载板与对应的卡槽分离或使置于托板上的载板落至输送组件上；升降组件用于驱动抽取组件升降使托板运动至与任一卡槽对应的位置。本实用新型能够实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210456544 U
(45)授权公告日
2020.05.05
(21)申请号 20192
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