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一种双极电容式真空计及其对应的测量电路.pdfVIP

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  • 2023-09-19 发布于四川
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一种双极电容式真空计及其对应的测量电路.pdf

    本实用新型涉及真空计计量领域，尤其涉及一种双极电容式真空计及其对应的测量电路，其包括壳体、膜片、固定基板和固定电极；膜片固定安装在壳体内，膜片将壳体内分割成两部分，一侧为真空腔，另一侧为检测腔；固定基板固定安装在真空腔内，固定基板上安装有固定电极，当膜片受力发生形变时，固定电极上的电容会发生变化，通过检测电容变化即可得到检测腔内的压力大小；固定电极包括环形电极和圆形电极，圆形电极位于环形电极内，且圆形电极和环形电极之间有间隔，将固定电极分为环形电极和圆形电极，能够有效地提高真空计的精度；测量电路

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210464785 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 20192

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