一种加工周期性微结构的五轴振镜激光精密加工方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种加工周期性微结构的五轴振镜激光精密加工方法.pdf

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本发明提供了加工周期性微结构的五轴振镜激光精密加工方法：S1：选择合适的微结构类型和微结构材料；S2：利用光学设计和模拟软件依据性能指标和光学原理设计周期性微结构参数并验证可行性；S3：根据关键结构参数构建周期性微结构三维模型并导入五轴振镜激光加工装置中；S4：依据周期性微结构模型的二维特征点位置，计算加工装置控制X、Y、α和β的振镜偏转角度；S5：计算特征点相对初始点的振镜偏转角度的变化值，引入智能算法依据变化值之和的最小值进行合适的激光路径规划；S6：改变Z轴进行逐层扫描，并重复所述步骤S5

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116765646 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310865629.1 (22)申请日 2023.07.14 (71)申请人厦门大学地址 361000