原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种薄型半导体基材清洗用伯努利吸盘，包括驱动装置和限位组件，限位组件包括驱动盘以及覆盖于驱动盘顶部的吸盘本体，吸盘本体转动连接不少于三个的定位销，驱动盘与吸盘本体之间形成容纳腔；容纳腔内安装驱使多个定位销夹持或松开晶圆的调节轮盘，吸盘本体圆周分布若干第一气孔，容纳腔内位于调节轮盘上方设置气密板，气密板固接于吸盘本体的下表面，气密板与吸盘本体围成密封气腔，气体通过密封气腔和第一气孔在吸盘本体表面产生伯努利效应以吸附晶圆。本发明用以解决现有技术中限位盘与晶圆吸盘分体式的设计导致结构更为复
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116779523 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202311033716.7
(22)申请日 2023.08.17
(71)申请人 苏州智程半导体科技股份有限公司
地
文档评论（0）