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本发明涉及的一种抽真空系统的分段集成方法，由控制台通过控制总线与真空机组集成、抽真空工位集成联控组成抽真空自动控制系统，实现真空机组之间最佳的配合。控制总线与抽真空工位集成联控组成工艺过程分析控制分系统，可进行工件抽真空工艺过程的自动处理以及每个工件的工艺过程记录。可通过对工艺过程的大数据统计和分析，实现工件在线质量合格水平的自动判定，并给出工件异常处理报警和特征数据结果报告，完成无人化的自动抽真空作业。本发明提高了设备利用率及生产效率，降低了能耗及运行成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116771638 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310842491.3 F04B 49/00 (2006.01)
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