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本发明提供了一种蒸镀掩模制造方法，该方法包括步骤：提供金属卷材；分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻，通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧，在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，所述第二面侧包括若干个第二凹部，所述第二凹部包括第二刻蚀面，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述上表面的方向凸起；定义所述凸起部至所述上表面的厚度为H2，且满足关系式：0.3T≤H
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115627442 A
(43)申请公布日 2023.01.20
(21)申请号 202011296107.7
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 匠博先进材料科技（广州）有限公司
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