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本发明提供了一种半导体晶圆制造执行任务派工方法，本发明同步制造执行系统数据库中的数据至派工系统数据库，保证数据一致性和准确性；本发明根据端口状态变化产生派工任务消息，并通过消息中间件和负载均衡算法分配给一个或多个派工系统，保证消息高效性和可靠性；本发明在每个派工系统中，根据任务消息和数据信息，采用派工任务逻辑，优化派工效率和质量；本发明使用分布式内存数据库，提高数据访问速度和可靠性。本发明利用数据同步、消息中间件、负载均衡和内存数据库技术，实现高效、可靠、智能的光刻机执行任务派工，可以有效地提高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116777182 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202311020974.1
(22)申请日 2023.08.15
(71)申请人 北京珂阳科技有限公司
地址 10
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