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- 2023-09-20 发布于四川
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本发明涉及静电卡盘技术领域，具体而言，涉及一种多温区静电卡盘。多温区静电卡盘包括加热组件，加热组件包括第一加热部件和公共电极部件，第一加热部件与公共电极部件键合或低温陶瓷共烧连接；第一加热部件包括第一加热电极，公共电极部件包括公共电极，第一加热电极能够通过公共电极连接电源，第一加热电极通电能够加热多温区静电卡盘。本发明提供的多温区静电卡盘，采用的键合与低温陶瓷共烧技术可以在低温环境中完成，即实现了低温制备，降低了多温区静电卡盘的制作难度，具有可修复加热组件的功能，可延长多温区静电卡盘的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116779525 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202311072660.6
(22)申请日 2023.08.24
(71)申请人 北京华卓精科科技股份有限公司
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