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本发明公开一种高精度自动纠偏装置，包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组；所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度；所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整；所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向；所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方，且与翻转模组可拆卸式连接；所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片，并对该硅片进行X方向的位置调整。本发明纠偏精确度高，体积小，吸盘模组翻转轮换上料效率
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107240572 A
(43)申请公布日
2017.10.10
(21)申请号 20171
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