一种X射线衍射装置及检测方法、终端和介质.pdfVIP

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  • 2023-09-20 发布于四川
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一种X射线衍射装置及检测方法、终端和介质.pdf

一种X射线衍射装置及检测方法、终端和介质,属于X射线技术领域,所述装置包括射线源、会聚元件和接收阵列;其中,射线源用于产生X射线;会聚元件用于对X射线进行会聚处理,获取焦点位于待测区域上的会聚射线,会聚射线包括以预设角度区间照射至待测区域的射线;接收阵列包括预设数量的传感器;指定区域的传感器用于检测指定角度的会聚射线经待测区域衍射后的强度信息。本申请使得样品能够同时受到多个角度的X射线的同时曝光,一次性获取检测样品所需的衍射数据,因而可以大大缩减XRD对于样品的X射线衍射图谱的检测时长。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116773570 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310897919.4 (22)申请日 2023.07.20 (71)申请人 深圳市埃芯半导体科技有限公司 地址

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