基于干涉测量的滚转角测试装置及测试方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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基于干涉测量的滚转角测试装置及测试方法.pdf

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本发明提供一种基于干涉测量的滚转角测试装置及测试方法。本发明的测试装置包括一台干涉仪、棱镜A和棱镜B；干涉仪的一侧设置棱镜A，干涉仪出射的平行光束经棱镜A折射后，光线垂直入射至棱镜B的斜面，经棱镜B斜面反射后光线原路返回干涉仪进行测试；棱镜B底面与被测工件端面连接；所述棱镜A和棱镜B的棱，与被测工件中心轴线垂直相交。本发明可以采用常规干涉仪测试工件滚转角偏差，属于非接触式测量、且测试时工件可沿其中心轴线方向前后移动，测试方法简单灵活，为高精度小角度滚转角测试以及实际应用提供更准确的测试数据。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116772750 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202311088443.6 (22)申请日 2023.08.28 (71)申请人南京英田光学工程股份有限公司地址