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本发明提供的一种箱门机构及收纳箱，涉及晶圆收纳设备技术领域，以在一定程度上解决晶圆外径波动，箱门上的定位结构无法适应不同径向尺寸的晶圆，造成晶圆晃动或压力过大变形损坏的问题。本发明提供的箱门机构,用于收纳箱，包括门体和多个定位组件，多个定位组件沿第一方向间隔设置于门体朝向收纳箱的一侧，且定位组件包括定位件和调节件，定位件沿第二方向延伸，且定位件的两端分别与门体相连接，调节件与定位件对应设置，且调节件能够向进入或远离收纳箱的方向移动，以推动定位件向进入或远离收纳箱的方向移动。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116767670 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310973063.4
(22)申请日 2023.08.03
(71)申请人 荣耀半导体材料（嘉善）有限公司
地
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