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本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台，所述支承台的上表面对应于所述掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱，其特征在于：所述支承台的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台，每个所述导向凸台内侧立面平行于掩模基板的对应侧边布置，每个所述支承台上的一对导向凸台的相向面之间设置有垂直安装槽，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210466012 U
(45)授权公告日
2020.05.05
(21)申请号 20192
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