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探针单元以及测定系统.pdfVIP

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  • 2023-09-20 发布于四川
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探针单元以及测定系统.pdf

    提供一种探针单元以及测定系统。在具有测定探针的探针单元中，信号处理电路具备：信号合成部，其对检测元件的输出进行处理并输出将接触部的在互相正交的3个方向中的各个方向上的位移成分进行合成所得到的合成信号；以及信号输出部，其在合成信号满足了阈值条件时，将数字触摸信号输出到探针单元的外部，其中，信号输出部具备将阈值条件与合成信号进行比较的3个比较部，在进行被测定物的测定时，信号输出部输出与第一比较部的输出及第二比较部的输出相应的数字触摸信号。由此，提供一种能够在确保高的抗噪声性的同时稳定地进行高精度的测

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111238433 A (43)申请公布日 2020.06.05 (21)申请号 20191

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