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本实用新型公开了一种UV膜解胶装置,包括安装壳体,安装在安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置,第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部,UV膜解胶装置还包括安装在安装壳体上的第二抽拉装置,第二抽拉装置设有散热板,且散热板上安装UV灯源板,在解胶时,UV灯源板向安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶;本实用新型操作便捷,有效提高了解胶效率,同时便于维护更换零部件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210489585 U
(45)授权公告日
2020.05.08
(21)申请号 20192
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