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本发明提供一种步进压印复合凸台模板及其制备方法；主要用于步进压印光刻，其能够灵活制备步进压印凸台模板；能够容易地更换模板以满足步进压印需要；采用3D打印、浇筑以及吸胶的方法可快速制备步进压印复合凸台模板，凸台分别由透明刚性支撑层、透明弹性缓冲层、透明模板压印层组成；高的透光率可以极大的提高UV光的利用率，节能环保；同时，复合凸台模板刚性层提供压印力的支撑与传递、弹性层提供力的均匀分布与缓冲，模板层提供结构的传递与复制。因此，本发明可实现步进压印复合凸台模板的制备与替换，良好的普适性，将具有很重要
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116794929 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310750584.3
(22)申请日 2023.06.25
(71)申请人 璞璘科技（杭州）有限公司
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