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本发明提供了一种光声成像系统，通过光源、微环谐振腔探测器阵列及信号处理单元构成，其中，微环谐振腔探测器阵列包括至少两路探测器阵列，每路探测器阵列包括至少两个微环谐振腔。则在成像过程中，光源发射激光信号，各微环谐振腔根据激光信号产生相应的谐振信号，信号处理单元根据各谐振信号对应输出图像信号。基于微环谐振腔探测器阵列拥有的小尺寸、高片上集成度、高灵敏度、大带宽、大接收角(～75°)，是传统的探测器PZT、PMUTs和CMUTs无法比拟的，能够实现成像系统小型化。同时，基于微环谐振腔的光声探测器阵列能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116784798 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310605505.X
(22)申请日 2023.05.25
(71)申请人 深圳大学
地址 518060
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