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本发明提供了一种双重互锁结构柔性压力传感器及其制备方法，传感器包括：由上至下设置的上柔性基底层、上介电层、下介电层和下柔性基底层，上柔性基底层和下柔性基底层的相对于内侧的一面上具有多个导线和多个电极，多个电极均匀排列在上、下柔性基底层，同一列的电极之间连接导线，上介电层和下介电层相对的内侧具有多个微球结构，多个微球结构相互具有一定间距、均匀地排布在上、下介电层上，并且上、下介电层上的微球结构交叉设置。本发明的技术方案克服现有技术中的柔性压力传感器的线性度较差，且在检测较小压力时不够灵敏的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116793539 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310637105.7
(22)申请日 2023.05.31
(71)申请人 山东科技大学
地址 266590
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