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本发明属于合金靶材制备技术领域，公开了高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：（1）按照铝钪合金靶坯中设计的钪含量、铝含量称取金属钪和金属铝，并将金属钪和金属铝混合熔炼，得到合金熔液；（2）将合金熔液浇铸到模具内，然后冷却成型，得到铸坯Ⅰ；合金熔液在模具中冷却的速度为50~100℃/min；（3）铸坯Ⅰ经打磨后再次熔炼，然后浇铸到模具内，冷却成型，得到铸坯Ⅱ；所述冷却的速度为3~12℃/min；（4）真空热处理步骤（3）得到的铸坯Ⅱ。本发明制备得到的高钪含量的铝钪合金靶坯上下面的铝钪粒子
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116791047 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310711910.X C22F 1/16 (2006.01)
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