原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种热稳定性高的还原炉，涉及多晶硅生产技术领域。尾气管外侧包裹有蒸发腔，还原炉外侧包裹有冷凝腔，在冷凝腔内的炉体外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔内的尾气管外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔和冷凝腔之间通过蒸发管和冷凝管连接成为一个密闭的空间。本实用新型的有益效果是：蒸发腔和和冷凝腔形成一个热管系统，蒸发腔内的导热油在负压条件下受热蒸发，蒸发的导热油在冷凝腔内冷凝释放热量，冷凝后的导热油经冷凝管回流到蒸发腔内循环，在热管的作用下，尾气管的热量被带回到还原炉体外侧，防止还原炉的炉体散热影响还原炉的热场
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219730549 U
(45)授权公告日 2023.09.22
(21)申请号 202320401377.2
(22)申请日 2023.03.06
(73)专利权人 大庆溢泰半导体材料有限公司
地址
文档评论（0）