基于同轴远心光路的不连续镜面三维形貌测量系统及方法.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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基于同轴远心光路的不连续镜面三维形貌测量系统及方法.pdf

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本发明公开了一种基于同轴远心光路的不连续镜面三维形貌测量系统及方法，所述测量系统包括液晶显示屏1、CCD相机2、远心镜头3、分束镜4、五轴位移台5与计算装置6。本发明的方法所述测量系统采用同轴远心光路结构，在获取待测不连续镜面的相位信息时，将由高度引起的相位误差降至最低，从根源上减少积分重建的误差，利用调制度对不连续镜面进行划分，寻找各连续子镜面，分区域积进行积分，避免错误积分路径的出现，由同轴远心光路结构推导出的相位‑高度的表达式，将各连续子镜面的相对高度准确求出，从而完成不连续镜面三维形貌的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116793255 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310880031.X (22)申请日 2023.07.18 (71)申请人成都酷汀光学科技有限公司地址