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单晶硅生产用石英坩埚原料 金小宁洪璐 东海县金孚石英制品厂 一、单晶硅对石英坩埚的要求 石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿，每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩 埚。因为单晶硅是生产大规模集成电路的原材料，所以对石英坩埚的要求十分苛 刻。目前单晶硅的发展主要向大直径、高纯度以及杂质分布高均匀性的方向发展。 而石英坩埚是直拉单晶硅生长过程中的重要材料，它的纯度和加工质量会直接影 响单晶硅的产量和质量，随着直拉单晶硅投料量和晶体生长直径的不断增大，对 石英坩埚的纯度和质量要求越来越高，主要有以下几方面要求：1)材质必须是 10{；2)耐高温性强， 高纯度半导体级，且纯度要高，有害化学元素小于20X 在高温过程中保持高电阻率及防止软化；3)坩埚的尺寸大，国外已普遍使用22 英寸及36英寸的石英坩埚；4)气泡要少，气泡在生产中不长大；5)规格精度 高，耐温性能好，节约能源。因此，随着对大直径单晶硅质量要求的不断提高， 对半导体材料用石英制品及相关材料提出了更高的要求。 二、石英坩埚对原料的要求 石英坩埚的