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本实用新型公开了一种理疗仪生产用晶圆清理装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部通过电机、减速器、凸轮机构和曲柄滑块机构，使花篮实现上下、左右的往复运动，花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。本实用新型适合增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，清洗速度快，清洗效率高，可小批量清洗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210497457 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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