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本实用新型属于PVD涂层炉技术领域，且公开了一种用于PVD涂层炉的循环水冷系统，包括PVD涂层炉，所述PVD涂层炉内设有冷却管，所述PVD涂层炉的底部设有底架，所述底架内安装有补水箱，本实用新型通过设置底架、补水箱、连接管、第一水泵、第一导水管、换热器、第一出水管、第二水泵、第二导水管和第二出水管等，通过换热器可对进入冷却管内的水进行换热交换，避免内外温度差导致水凝结现象，同时通过第一水泵和第二水泵配合可对冷却管内的水进行循环，避免冷却管内的水长时间存放导致水结垢，使其经常流通，对冷却管内壁的污
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219731047 U
(45)授权公告日 2023.09.22
(21)申请号 202320440188.6 B01D 29/96 (2006.01)
(22)申请日 2023.03.
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