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本发明涉及太阳能电池领域，具体涉及一种高效、低寄生吸收n型TOPCon电池及其制备方法，包括以下步骤：(1)双面制绒；(2)硼扩散；(3)去BSG及背面刻蚀；(4)背面生长隧穿氧化层及多晶硅层；(5)磷扩散；(6)正面刻蚀；(7)镀膜及印刷。本发明对制绒工艺、减反膜种类及其厚度、掺杂浓度等进行选择和优化，使得太阳能电池片的光电转化效率得到改善，最高可达25.376％，明显优于常规的TOPCon电池；本发明对制绒工艺进行改进，通过循环流动的酸性蒸汽不断地与硅片接触腐蚀，保证与硅片反应点位的同时且充
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116799090 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310947944.9
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 滁州捷泰新能源科技有限公司
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