一种过滤排气集成系统及其控制系统.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种过滤排气集成系统及其控制系统.pdf

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本发明公开了一种过滤排气集成系统，包括依次连通的进气单元、过滤单元、排气单元、储气单元，所述排气单元包括气体模组、质谱检测模块、真空泵组，所述进气单元依次通过质谱检测模块、气体模组与储气单元相连，所述气体模组包括相互连通的流量控制模块、气体取样模块，所述流量控制模块分别通过阀组模块与气体取样模块和真空泵组相连。本发明中，通过多个带有多个切换通道的控制阀的设置，使得多个切换通道集成在控制阀的阀杆内，减少了原先设置的多个控制阀门及连接管路的占用空间，可根据阀组间阀位逻辑实现不同切换通道的组合，减小了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116785857 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310761464.3 (22)申请日 2023.06.26 (71)申请人西北核技术研究所地址 7106