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本发明公开了一种球形盒状三维探测器及其制备方法，探测器由数个探测单元排列而成，探测单元外形呈圆柱状，探测单元包括空心的基底，基底底部附着有氧化层a，基底内固定有空心半球的壳形电极，壳形电极内填充有半导体基体，半导体基体顶部中间镶嵌有实心半球的中央收集电极，中央收集电极与壳形电极顶部附着有金属层，半导体基体顶部附着有氧化层b；本发明工作时内部电场均匀，电流信号无长尾、不相互干扰，探测器的能量分辨率提高，本发明的探测单元整体尺寸小，耗尽电压、结电容和漏电流都很小，噪音小，探测器的位置分辨率提高，能适
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109950333 A
(43)申请公布日
2019.06.28
(21)申请号 20191
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