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本发明提供了一种非接触式基板载具,涉及基板载具技术领域,解决基板在通过载具运输的过程中,如果载具发生剧烈活动的时候,会带动基板也发生剧烈的偏斜重心改变的活动,从而导致会在夹持件中产生摩擦损坏。本体中部设置有分隔板,本体的一侧连接有组合盖,本体贴合组合盖的一侧设置有连接槽,本体内部设置有连接球,连接球的内部连接有调平组件,组合盖内部设置有组合球。通过该装置中设置的调平组件能够对在对基板进行夹持的过程中,如果运输过程中发生晃动也能够保持一定的平行,而不会跟随其进行发生晃动,导致基板晃动震动发生磨损,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116788661 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310905235.4
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 四川普瑞森电子有
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