一种离子源设备和镀膜系统.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种离子源设备和镀膜系统.pdf

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本申请涉及一种离子源设备和镀膜系统，离子源设备包括、冷却管、灯丝和电极。其中，第一壳体具有第一顶板、第一底板和第一侧壁，第一顶板和第一底板相对设置并均与第一侧壁连接，三者围设出第一腔室；第一底板和第一侧壁设有联通的第一通道。冷却管与第一壳体固定连接，并与第一通道联通，冷却管用于向第一通道中供给冷却液。灯丝位于第一腔室中并与第一壳体固定连接。电极与灯丝电连接。本申请提供的离子源设备，通过电极与外界的电源连接给灯丝加热产生电子和热量，然后通过冷却管向第一壳体的壳体壁中通入冷却液，实现冷却第一壳体的作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116798837 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310980108.0 H01J 37/32 (2006.01) (22)申请日 2023.08.