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本实用新型公开了一种无接触式传输线的凸轮推动装置,位于第一产线与第二产线之间,包括安装于第一产线上的气浮块,所述气浮块数量为两组且位于第一产线两侧,将硅片吹起;安装于第一产线输送带上的定位块组,所述定位块组数量为至少两组,硅片位于相邻定位块组之间,定位块组推出硅片;凸轮结构,所述凸轮结构包括驱动电机与位于所述驱动电机转轴端的凸轮块,所述凸轮块与悬浮后的硅片处于同一高度的水平面上。本实用新型当硅片被传送至第一产线与第二产线的交接处时,对两侧凸轮结构的驱动电机通电,带动凸轮块将硅片拨动至第二产线运动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219738930 U
(45)授权公告日 2023.09.22
(21)申请号 202320313568.3
(22)申请日 2023.02.25
(73)专利权人 上海昶火微电子科技有限公司
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