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本实用新型涉及半导体加工设备领域，公开了一种能够减少轴漂的柔性铰链及自找平位移台，其中，能够减少轴漂的柔性铰链包括支撑部及周向外延于所述支撑部的多个弹性部，所述弹性部两两相对于支撑部对称设置，所述弹性部包括一端与支撑部相接的柔性铰链单元，以及设置于所述柔性铰链单元另一端的承载部，各所述柔性铰链单元长度相同，多个所述承载部的顶面共面设置，且多个所述承载部的顶面所在平面位于所述支撑部顶面的上方。本实用新型通过中心支撑部及对称外延的弹性部的设置，相对于一般柔性铰链，轴漂较小，在同等受力范围内，能够较为
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219733924 U
(45)授权公告日 2023.09.22
(21)申请号 202320413039.0
(22)申请日 2023.03.07
(66)本国优先权数据
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